问:残值噪音怎么测?

答:洁净光学平晶上让测针「空走」,输出 RMS 即残噪;DR 的 ≤0.005μm 就是这么标出来的。

📖 完整选型选购指南:指示精度 ±(5nm+2.5%)、残值噪音 0.005μm、重复性 1δ≤1nm——粗糙度指标逐个翻译