TH521-02-20 功率器件分析仪

Name: TH521-02-20 功率器件分析仪
Brand: Tonghui 同惠
Availability: InStock

分类电学测试 / 半导体测试仪器应用场景电学测试

我要询价

用途场景

研发实验室研发、新产品开发、技术研究

生产生产线检测、工艺控制、制造过程监控

品控质量检验、来料检测、成品测试

合规认证计量检测、仪器校准、精度验证

教学实训教学实验、技能培训、实训演示

维修设备维修、故障诊断、维护保养

规格参数

【产品概述】

TH521-02-20	IV: 200V/20A	TH521-35-20	IV: 3500V/20A
TH521-02-20C	IV: 200V/20A, CV: 10MHz, Qg	TH521-35-20C	IV: 3500V/20A, CV: 10MHz, Qg
TH521-02-200	IV: 200V/200A	TH521-35-200	IV: 3500V/200A
TH521-02-200C	IV: 200V/200A, CV: 10MHz, Qg	TH521-35-200C	IV: 3500V/200A, CV: 10MHz, Qg
TH521-02-600	IV: 200V/600A	TH521-35-600	IV: 3500V/600A
TH521-02-600C	IV: 200V/600A, CV: 10MHz, Qg	TH521-35-600C	IV: 3500V/600A, CV: 10MHz, Qg
TH521-02-1800	IV: 200V/1800A	TH521-35-1800	IV: 3500V/1800A
TH521-02-1800C	IV: 200V/1800A, CV: 10MHz, Qg	TH521-35-1800C	IV: 3500V/1800A, CV: 10MHz, Qg

• TH521系列功率器件分析仪是一款用于电路设计的综合解决方案，可帮助电力电子电路设计人员选择适合自身应用的功率器件，让其电力电子产品发挥最大价值。它可以评测器件在不同工作条件下的所有相关参数，包括IV参数（击穿电压和导通电阻）、三端 FET电容、栅极电荷和功率损耗。用于电路设计的TH521系列功率器件分析仪具有完整的曲线追踪仪功能以及其他功能。

【应用】

• 半导体功率器件

二极管、三极管、MOSFET、IGBT、晶闸管、集成电路、光电子芯片等寄生电容测试、C-V特性分析

• 半导体材料

晶圆切割、C-V特性分析

• 液晶材料

弹性常数分析、液晶切割

• 电容元件

电容器C-V特性测试及分析，电容式传感器测试分析

【技术参数】

MCSMU
电压范围、分辨率和精度
电压量程	输出/测量分辨率	输出/测量精度（% + mV + mV）	最大电流
200mV	200nV	±(0.06 + 0.14 + Io x 0.05)	1A
2V	2μV	±(0.06 + 0.6 + Io x 0.5)	1A
20V	20μV	±(0.06 + 3 + Io x 5)	1A
40V	40μV	±(0.06 + 3 + Io x 10)	1A
电流范围、分辨率和精度	输出/测量分辨率	输出/测量精度（%+A+A）	最高电压
10μA	10pA	±(0.06+ 1E-8 + Vo x 1E-10)	30V
100μA	100pA	±(0.06 + 2E-8 + Vo x 1E-9)	30V
1mA	1nA	±(0.06 + 2E-7 + Vo x 1E-8)	30V
10mA	10nA	±(0.06 + 2E-6 + Vo x 1E-7)	30V
100mA	100nA	±(0.06 + 2E-5 + Vo x 1E-6)	30V
1A	1uA	±(0.4 + 2E-4 + Vo x 1E-5)	30V
典型分辨率	6½位
最大电压	±30V
最小电流	10pA
脉冲最大占空比	5%（峰值超过100mA时）
脉冲最小宽度	10μs
脉冲最大宽度	100ms（峰值超过100mA时）
直流最大电流	±100mA
脉冲最大峰值	±1A
脉冲最大基值	±50mA（峰值超过100mA时）

HCSMU
电压范围、分辨率和精度
电压量程	输出/测量分辨率	输出/测量精度（% + mV + mV）	最大电流
200mV	200nV	±(0.06 + 0.6 + Io x 0.05)	20A
2V	2μV	±(0.06 + 0.6 + Io x 0.5)	20A
20V	20μV	±(0.06 + 3 + Io x 5)	20A
40V	40μV	±(0.06 + 3 + Io x 10)	1A
电流范围、分辨率和精度	输出/测量分辨率	输出/测量精度（%+A+A）	最高电压
10μA	10pA	±(0.06+ 1E-8 + Vo x 1E-10)	40V
100μA	100pA	±(0.06 + 2E-8 + Vo x 1E-9)	40V
1mA	1nA	±(0.06 + 2E-7 + Vo x 1E-8)	40V
10mA	10nA	±(0.06 + 2E-6 + Vo x 1E-7)	40V
100mA	100nA	±(0.06 + 2E-5 + Vo x 1E-6)	40V
1A	1μA	±(0.4 + 2E-4 + Vo x 1E-5)	40V
20A	20μA	±(0.4 + 2E-3+Vo x 1E-4)	20V
典型分辨率	6½位
最大电压	±40V
最小电流	10pA
脉冲最大占空比	1%（峰值超过1A时）
脉冲最小宽度	50μs
脉冲最大宽度	1ms（峰值超过1A时）
直流最大电流	±1A
脉冲最大峰值	±20A
脉冲最大基值	±100mA（峰值超过1A时）

MPSMU
电压范围、分辨率和精度
电压量程	输出/测量分辨率	输出/测量精度（% + mV + mV）	最大电流
100mV	100nV	±(0.06 + 0.14 + Io x 0.05)	100mA
1V	1μV	±(0.06 + 0.6 + Io x 0.5)	100mA
10V	10μV	±(0.06 + 3 + Io x 5)	100mA
100V	100μV	±(0.012 + 2.5 + Io x 10)	20mA(≥40V) 50mA(≤40V) 100mA(≤20V)
电流范围、分辨率和精度	输出/测量分辨率	输出/测量精度（%+A+A）	最高电压
10nA	10fA	±(0.1 + 1E-12 + Vo x 1E-14)	100V
100nA	100fA	±(0.05 + 2E-11 + Vo x 1E-13)	100V
1μA	1pA	±(0.05 + 1E-10 + Vo x 1E-12)	100V
10μA	10pA	±(0.04 + 2E-9 + Vo x 1E-11)	100V
100μA	100pA	±(0.03 + 3E-9 + Vo x 1E-10)	100V
1mA	1nA	±(0.03 + 6E-8 + Vo x 1E-9)	100V
10mA	10nA	±(0.03 + 2E-7 + Vo x 1E-8)	100V
100mA	100nA	±(0.04 + 6E-6 + Vo x 1E-7)	100V(≤20mA) 40V(≤50mA) 20V(≤100mA)
典型分辨率	6½位
最大电压	±100V
最小电流	10fA

HVSMU
电压范围、分辨率和精度
电压量程	输出/测量分辨率	输出/测量精度±(%+mV)	最大电流
200V	200uV	±(0.03+40)	8mA
500V	500uV	±(0.03+100)	8mA
1500V	1.5mV	±(0.03+300)	8mA
3500V	3.5mV	±(0.03+600)	4mA
电流范围、分辨率和精度	输出/测量分辨率	输出/测量精度（%+A+A）	最高电压
10nA	10fA	±(0.1 + 1E-9 + Vo x 8E-12)	3500V
1μA	1pA	±(0.05 + 1E-9 + Vo x 8E-12)	3500V
100μA	100pA	±(0.03 + 3E-9 + Vo x 1E-11)	3500V
10mA	10nA	±(0.03 + 2E-7+ Vo x 1E-9)	1500V
典型分辨率	6½位
最大电压	±3500V
最小电流	10fA

MFCMU
频率	频率范围	1kHz~10MHz
	最小频率分辨率	1mHz
	频率精度	±0.008%
AC电平	电平范围	0~1V
	分辨率	0.1mVrms
	精度	±(10%*设定值+2mV)
DC偏置	范围	0~±25V
	分辨率	1mV
	准确度	1%*设定电压+8mV
输出阻抗		100Ω
测试端配置		四端对
测试时间		0.05plc~100plc(1plc=20ms)
电容	显示范围	0.00001pF~9.99999F
电容	最高准确度	0.1%

UHCU
电压范围、分辨率和精度
电压量程	测量分辨率	输出分辨率	输出/测量精度±(%+mV)
60V	100μV	200μV	±(0.2+10)
6V(仅测量)	10μV	------	------
电流范围、分辨率和精度	测量分辨率	输出分辨率	输出/测量精度（%+A+A）
200A	500μA	1mA	±(0.6 + 0.3 + 0.01*Vo)
600A	500μA	1mA	±(0.6 + 0.3 + 0.01*Vo)
1800A	2mA	4mA	±(0.8 + 0.9 + 0.02*Vo)
脉冲最大占空比	0.4%（600A量程）；0.1%（1800A量程）
脉冲最小宽度	10μs
脉冲最大宽度	1ms（600A量程）；500μs（1800A量程）
脉冲最大峰值	200A、600A、1800A
脉冲分辨率	2μs

HVMCU
最大输出规格
＋3500V/4mA				＋1500V/8mA
峰值输出规格
电压范围				峰值功率
±2200V				600W
±1500V				900W
电压范围、分辨率、精度
电压范围	设置分辨率		测量分辨率		设置精度^1,2,3±（%+V）	测量精度^1,2±（%+V）
±2200V	3mV		3mV		±（5+20）	±（0.8+1.8）
±1500V	1.5mV		3mV		±（5+20）	±（0.8+1.8）
1：测量精度：±（读数的 6% + 固定电压偏移） 2：精度定义条件：在 1.1 A 档位和 2.5 A 档位下，以 100 μs 脉冲测试；在 100 mA 档位下，以 1 ms 脉冲 3：设定精度：在开路条件下定义
电流范围、分辨率、精度¹^，²
电流范围		测量分辨率		测量精度1±（%+A+A）
±2.5A		4μA		±（0.9+4E-3+Vo×3E-7）
±1.1A		4μA		±（0.9+4E-3+Vo×3E-7）
±110mA		200nA		±（0.9+2E-4+Vo×3E-7）
1：当电流大于 1.1 A 时，厂家提供额外的性能说明或参数限制。 2：相关的精度或特性是在对 20 个采样点取平均值的条件下有效。
脉宽和分辨率
输出范围		脉宽		分辨率
1500V/2.5A		10μs-100μs		2μs
2200V/1.1A		10μs-100μs		2μs
2200V/110mA		10μs-1ms		2μs
补充特性（HVMCU充电电容0.22μF）
输出电阻范围				标称值
1500V/2.5A				600Ω
2200V/1.1A				2000Ω
2200V/110mA				20000Ω

HPSMU
电压范围、分辨率和精度
电压量程	输出 / 测量分辨率	输出 / 测量精度（% + mV + mV）	最大电流
200mV	100nV	±(0.06 + 0.14 + Io x 0.05)	1A
2V	1μV	±(0.06 + 0.6 + Io x 0.5)	1A
20V	10μV	±(0.06 + 3 + Io x 5)	1A
200V	100μV	±(0.012 + 2.5 + Io x 10)	50mA
电流范围、分辨率和精度	输出 / 测量分辨率	输出 / 测量精度（%+A+A）	最高电压
10nA	10fA	±(0.1 + 1E-12 + Vo x 1E-14)	200V
100nA	100fA	±(0.05 + 2E-11 + Vo x 1E-13)	200V
1μA	1pA	±(0.05 + 1E-10 + Vo x 1E-12)	200V
10μA	10pA	±(0.04 + 2E-9 + Vo x 1E-11)	200V
100μA	100pA	±(0.03 + 3E-9 + Vo x 1E-10)	200V
1mA	1nA	±(0.03 + 6E-8 + Vo x 1E-9)	200V
10mA	10nA	±(0.03 + 2E-7 + Vo x 1E-8)	200V
100mA	100nA	±(0.04 + 6E-6 + Vo x 1E-7)	200V
1A	1μA	±(0.4 + 15E-5 + Vo x 1E-6)	200V
典型分辨率	6½ 位
最大电压	±200V
最小电流	10fA

插槽号	TH521-35-20	TH521-35-20C	TH521-35-200	TH521-35-200C	TH521-35-600	TH521-35-600C	TH521-35-1800	TH521-35-1800C
0	GNDU	GNDU	GNDU	GNDU	GNDU	GNDU	GNDU	GNDU
1	MPSMU	MPSMU	MPSMU	MPSMU	MPSMU	MPSMU	MPSMU	MPSMU
2	Empty	MFCMU	Empty	MFCMU	Empty	MFCMU	Empty	MFCMU
3	MCSMU	MCSMU	MCSMU	MCSMU	MCSMU	MCSMU	MCSMU	MCSMU
4	Empty	MCSMU	Empty	MCSMU	Empty	MCSMU	Empty	MCSMU
5	HCSMU	HCSMU	MCSMU	MCSMU	MCSMU	MCSMU	MCSMU	MCSMU
6	HCSMU	HCSMU	MCSMU	MCSMU	MCSMU	MCSMU	MCSMU	MCSMU
7	HVSMU	HVSMU	HVSMU	HVSMU	HVSMU	HVSMU	HVSMU	HVSMU
8	HVSMU	HVSMU	HVSMU	HVSMU	HVSMU	HVSMU	HVSMU	HVSMU
9	Empty / MCSMU (选配HVMCU)
10	Empty / MCSMU (选配HVMCU)

插槽号	TH521-02-20	TH521-02-20C	TH521-02-200	TH521-02-200C	TH521-02-600	TH521-02-600C	TH521-02-1800	TH521-02-1800C
0	GNDU	GNDU	GNDU	GNDU	GNDU	GNDU	GNDU	GNDU
1	MPSMU	MPSMU	MPSMU	MPSMU	MPSMU	MPSMU	MPSMU	MPSMU
2	Empty	MFCMU	Empty	MFCMU	Empty	MFCMU	Empty	MFCMU
3	MCSMU	MCSMU	MCSMU	MCSMU	MCSMU	MCSMU	MCSMU	MCSMU
4	Empty	MCSMU	Empty	MCSMU	Empty	MCSMU	Empty	MCSMU
5	HCSMU	HCSMU	MCSMU	MCSMU	MCSMU	MCSMU	MCSMU	MCSMU
6	HCSMU	HCSMU	MCSMU	MCSMU	MCSMU	MCSMU	MCSMU	MCSMU
7	HPSMU	HPSMU	HPSMU	HPSMU	HPSMU	HPSMU	HPSMU	HPSMU
8	HPSMU	HPSMU	HPSMU	HPSMU	HPSMU	HPSMU	HPSMU	HPSMU
9	Empty
10	Empty

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