表面形貌测量仪 FD 怎么选?1.2nm 分辨率背后的微观形貌测量边界
FD 是 WALE 的形貌档:Z1 分辨率 1.2nm、线性精度 ≤±(0.5+|0.02H|)μm、圆弧 Pt ≤0.3μm、直线度 0.3μm/100mm(截止 0.8)。适合精密零件微观形貌分析:密封面峰谷、轴承滚道形貌、光学面微结构。
只要宏观轮廓选 CQ;要「看得见纳米起伏」选 FD。
常规轮廓测量回答「形状对不对」;形貌测量回答「表面上发生了什么」——划痕深度、凸起高度、磨损形貌、涂层起伏,这些纳米到微米级的特征,决定密封、摩擦、光学性能。
FD 的三张王牌:
① Z1 分辨率 1.2nm:接触式传感器分辨纳米级起伏,比轮廓档(0.02μm=20nm)细一个量级以上;
② 圆弧 Pt ≤0.3μm、圆弧 ±(1+R/12)μm:曲面形貌不失真;
③ 直线度 0.3μm/100mm(截止 0.8):更严的基准导轨,长程形貌不掺导轨波纹。
FD 与粗糙度仪的区别:粗糙度是「统计参数」(Ra/Rz),形貌是「原始轮廓本身」——要分析具体位置的具体缺陷,FD 是对的选择。
🧰 逐款带你看
FD 一系两档行程:

纳米级形貌分析:密封面、滚道、光学面微观特征的「显微镜」。
- Z1 分辨率 1.2nm,量程 30-60mm
- 线性 ≤±(0.5+|0.02H|)μm,圆弧 Pt ≤0.3μm
- X 0-300mm,Z 420/620mm 可选
- 直线度 0.3μm/100mm(截止 0.8)

📊 一张表选对型号
FD 与同平台兄弟的分工:
| 需求 | 推荐 |
|---|---|
| 宏观轮廓(台阶/圆角/锥度) | CQ |
| 批量轮廓 + 换杆 | CF |
| 微观形貌 / 缺陷分析 | FD |
| 形貌 + 粗糙度一次采集 | 一体机 FDI / WaleSurf10,见《粗糙度轮廓一体机怎么选》 |
🔧 核心仪器
WALE FD 表面形貌测量仪:X 0-300mm、Z1 1.2nm、圆弧 Pt ≤0.3μm
✅ 选型关键要点
- 先分「统计 vs 原始」:要 Ra/Rz 报表用粗糙度仪;要缺陷位置与形态用 FD。
- Pt 指标看峰值:圆弧 Pt ≤0.3μm 保证曲面上形貌不被圆弧误差淹没。
- 截止波长 0.8:FD 直线度按 0.8 截止更严,长程形貌基准更净。
- Z1 量程 30-60mm:大起伏形貌分段测。
- 与粗糙度指标联动:形貌数据可衍生粗糙度参数,一份扫描双份输出。
💡 温馨提示
下面这几条都是真金白银踩出来的,下单前扫一眼。
- 拿形貌仪当粗糙度仪用:能做但浪费;日常 Ra 报表交给粗糙度仪/一体机。
- 污染样品直接上针:切屑与粉尘会划伤针尖并造「假划痕」,先清洁。
- 超量程硬扫:Z1 量程 30-60mm,超大台阶分段测量。
- 忽视环境气流:纳米级测量对气流敏感,防罩与隔振照常配置。
🙋 常见问题
- FD 和粗糙度仪输出的东西有何不同?
- 粗糙度仪输出 Ra/Rz 等统计参数;FD 输出原始轮廓数据——能定位第几毫米有多深的划痕。
- 1.2nm 分辨率在实际中能用到吗?
- 密封面研磨纹、轴承滚道熬纹、光学镀膜起伏都在几十纳米量级——正是 FD 的主场。
- FD 能测圆弧面形貌吗?
- 能,圆弧 ±(1+R/12)μm、Pt ≤0.3μm 为曲面形貌兜底。
- 与一体机 FDI 怎么选?
- 纯形貌分析 FD;要「形貌+粗糙度一次采集不出错」选 FDI / WaleSurf10。
- X 300mm 够吗?
- 形貌分析多为局部区域(几十毫米内);大面积形貌分区域扫描拼接。
🏭 他们都用得上
形貌看 FD,一站配齐
- 🔬 WALE FD 表面形貌测量仪
- 📏 常规轮廓:CQ / CF / CE
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寄样测一轮:纳米级形貌图谱直接看,含免费测试与选型评审。
