技术参数
1. 测量范围：X 轴 500mm, Y 轴 600mm, Z 轴 400mm
2. 外形尺寸：长 1420mm, 宽 1135mm, 高 2310mm
3. 示值误差 E：1.5+L/300 um, 2.3+L/300 um
4. 供气压力：0.6-0.8 Mpa
5. 最大承重：500kg
6. 仪器重量：900kg
1. 三轴均由天然黑色花岗岩材料构成，因此各轴具有相同的温度特性
2. Y 轴导轨和工作台加工成一体，以保证机器的长期稳定
3. 所有导轨均经手工研磨制作，具有极高的精度
4. 各轴均采用预应力环绕分布的空气轴承
5. 三轴均采用高速动态伺服驱动和摩擦传动系统
6. 用气缸平衡 Z 轴重量
7. 被动减震系统/垫
8. 各轴均有独立的气动调节系统，因此可以根据各轴的负载情况，分别调整各轴的气压及供气量，以达到最佳的运动状态
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