用途场景
规格参数
- 1三轴均由天然黑色花岗岩材料构成,因此各轴具有相同的温度特性
- 2Y 轴导轨和工作台加工成一体,以保证机器的长期稳定
- 3所有导轨均经手工研磨制作,具有极高的精度
- 4各轴均采用预应力环绕分布的空气轴承
- 5三轴均采用高速动态伺服驱动和摩擦传动系统
- 6用气缸平衡 Z 轴重量
- 7被动减震系统/垫
- 8各轴均有独立的气动调节系统,因此可以根据各轴的负载情况,分别调整各轴的气压及供气量,以达到最佳的运动状态
- 1测量范围:X 轴 500mm, Y 轴 600mm, Z 轴 400mm
- 2外形尺寸:长 1420mm, 宽 1135mm, 高 2310mm
- 3示值误差 E:1.5+L/300 um, 2.3+L/300 um
- 4供气压力:0.6-0.8 Mpa
- 5最大承重:500kg
- 6仪器重量:900kg
