用途场景
规格参数
概述
白光干涉仪 AM-8000系列 最高精度0.03nm / 自动对焦 / 自动调平 粗糙度 微观形貌 台阶高度 平面度 AM-8000 系列在实现高精度测量同时,拥有更高效的智能操控,可 一键自动寻找工件、对焦、调平 ,XY轴测量范围最高可达300×300mm, 满足Mapping多点位测量、非球面K值测量 等需求。 对比AM-7000系列, AM-8000系列平台 行程提升3倍、负载能力提升2.5倍、定位精度提升50%、移动拼接速度提升30%, 适配更多干涉镜头 , 覆盖更广泛的应用场景 。广泛应用于半导体、精密光学、3C、新能源等领域,为微纳结构测量、粗糙度检测提供高效解决方案。



产品特性








应用示例
粗糙度































高度/高度差


三维形貌


















































三维尺寸

二维尺寸


平面度


台阶高度








二维轮廓




