用途场景
研发
实验室研发、新产品开发、技术研究
生产
生产线检测、工艺控制、制造过程监控
品控
质量检验、来料检测、成品测试
合规认证
计量检测、仪器校准、精度验证
教学实训
教学实验、技能培训、实训演示
维修
设备维修、故障诊断、维护保养
规格参数
产品概览
适用于8英寸及以下圆片(8、6、5、4英寸)测试、集成电路和分离器
产品介绍
· Chuck最大满足8寸晶圆测试，不同尺寸晶圆分别采用独立真空控制开关控制真空吸附；
· 面板结构：面板可以上下快速升降、搭状结构配置金相显微镜、增大型U型 平台，可同时容纳多个探针座同时点测，台体背面设计有接地接头，可做电极引出信号进行测试；
· 备接光近场CCD接口：在金相显微镜顶部有标准相机接口，可以安装近场 CCD等 ；
· 针座：可满足4个精密三维直流针座安装，或2个精密四维射频针座安装；
· 隔振台：实验室专用气浮隔振台；
· 可选配置PC与显示器
产品参数
主要功能
高精度机械与定位功能
可视化与探针适配功能
灵活扩展与操作功能
温度控制(选配)
测试应用
晶圆级电学测试
集成电路、分立器件手工检测
小批量研发验证
工艺后性能验证
